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广东大族半导体取得磨削砂轮及碳化硅电化学纳米磨削方法专利

2026年06月07日 10:02
 

国家知识产权局信息显示,广东工业大学、广东大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“一种磨削砂轮及使用其的碳化硅电化学纳米磨削方法”的专利,授权公告号CN121374442B,申请日期为2025年9月。

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